科创板光刻机有哪几家

根据我查到的信息，科创板上有关于光刻机的知名公司有上海微电子。上海微电子是国内高端光刻机领域的龙头企业，它的产品和技术开发在该领域有着重要地位。比如上海微电子研发的双工件台光刻机技术，这个技术打破了国际巨头ASML在这一领域的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

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